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一、概述
超纯臭氧水机采用高浓度、超纯净、深度精细工艺的臭氧实现技术是该发生器实现的基础。臭氧被电子工业用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生长、光刻胶去除和多种清洁应用。GTC发生器能够产生高浓度、大量流量、高压力的超洁净臭氧，整体模块化，结构紧凑，简洁、可视化外观。
二、特点
♦臭氧浓度高，浓度高达400mg/L；
♦臭氧输出压力高，压力高达3.0bar；
♦高气体流量；
♦采用超纯发生技术与超纯材料及工艺制造，避免、减少金属污染及析出；
♦水冷型，无氮气掺加技术；
♦获得专利的臭氧专用结构设计，确保放电均匀一致性，保证系统性能更稳定；
